罗茨真空泵
罗茨真空泵是一种旋转式容积真空泵。其结构形式是由罗茨鼓风机演变而来的。它于1944年首先出现于德国，是为适应在10～1000pa压力范围内具有大抽速的真空熔炼系统而作为机械增压泵使用。
根据罗茨真空泵工作压力范围的不同，分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵和高真空多级罗茨泵。国内用量最多的为中真空罗茨泵。
罗茨真空泵与其它油封式真空泵相比有以下特点：
1.在较宽的压力范围内有较大的抽速;
2.转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速;
3.泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染;
4.泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;
5.压缩比较低，对氢气抽气效果差;
6.转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。罗茨真空泵近几年在国内外得到较快的发展。在冶炼、石油化工、电工、电子等行业得到了广泛的应用。
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