臭氧是空气中的氧通过高压放电产生的，制造臭氧的空气必须先行净化和干燥，以提高臭氧发生器效率并减少腐蚀。臭氧发生系统的前部为空气净化和干燥装置，以后为臭氧发生器。其系统布置为：空气压缩机将空气送至冷却器，然后再经过滤加以净化，再经过1~2级硅胶或分子筛干燥器，将空气干燥至露点（－50℃）以下，最后经臭氧发生器，通过15000~17000V高压电，在空气中放电后产生臭氧。
现场用空气或氧气为原料制备的臭氧的浓度在2%~10%之间。
臭氧具有高腐蚀性能，通常橡胶、大多数塑料、普通钢铁、铜以及铝等材料都不能用于臭氧系统。可用的材料主要包括316和305不锈钢、玻璃、氯磺烯化聚乙烯合成橡胶、聚四氟乙烯以及混凝土。
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